奧松自主研發(fā)的集成式溫濕度傳感器-AHT10

在環(huán)境監(jiān)測(cè)行業(yè)，環(huán)境傳感器因其便攜、智能、多樣化等特性而受到大眾青睞。而在人工智能、智慧城市、物聯(lián)網(wǎng)的加持下，傳感器的應(yīng)用漸成系統(tǒng)化趨勢(shì)。根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域來(lái)區(qū)分行情，環(huán)境監(jiān)測(cè)站應(yīng)用的分析儀器傳感器，體積大、價(jià)格高，多數(shù)為外國(guó)進(jìn)口，國(guó)內(nèi)品牌較少;工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用的環(huán)境監(jiān)測(cè)傳感器，市場(chǎng)占有率位居國(guó)內(nèi)前列，但還是有50%用的是國(guó)外產(chǎn)品。

造成以上的因素，主因還是受制于新材料、設(shè)備、生產(chǎn)工藝等產(chǎn)業(yè)化的基礎(chǔ)問(wèn)題，國(guó)內(nèi)落后的傳感器研發(fā)和制造水平，與高速增長(zhǎng)的需求形成了矛盾，只能大量依賴進(jìn)口。國(guó)內(nèi)的企業(yè)沒有核心技術(shù)和統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，而用戶為了保持系統(tǒng)的一致性和穩(wěn)定性，不敢用國(guó)產(chǎn)貨，這也讓一些國(guó)產(chǎn)廠商愈發(fā)缺乏自信。以上，不僅僅是在環(huán)境監(jiān)測(cè)傳感器領(lǐng)域，這是我國(guó)整體傳感器產(chǎn)業(yè)的共同問(wèn)題，技術(shù)細(xì)節(jié)、加工工藝、極端環(huán)境使用等方面與國(guó)外產(chǎn)品存在的差距，都是我們改進(jìn)的方向。

唯有自主研發(fā)才能掌握市場(chǎng)主動(dòng)權(quán)

首先，加大研發(fā)投入是不可避免，包含人力和資金等來(lái)優(yōu)化技術(shù)和工藝細(xì)節(jié)，實(shí)現(xiàn)整體實(shí)力提升，推進(jìn)市場(chǎng)化應(yīng)用。其次，中國(guó)應(yīng)該出臺(tái)相關(guān)政策支持和鼓勵(lì)本土傳感器企業(yè)。最后，扶持上下游產(chǎn)業(yè)企業(yè)，進(jìn)行產(chǎn)業(yè)集聚，走出一條產(chǎn)業(yè)化之路。

目前，我國(guó)的傳感器行業(yè)發(fā)展雖然相對(duì)滯后一些，但這些年我們也取得了很大的進(jìn)步，政府《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》的推進(jìn)，也在大力扶持傳感器行業(yè)的發(fā)展。創(chuàng)立于2003年9月的廣州奧松電子有限公司是國(guó)內(nèi)第一家濕度傳感器自主研發(fā)企業(yè)，是目前國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器及芯片的制造商。奧松也是廣東省MEMS領(lǐng)域唯一的集研發(fā)設(shè)計(jì)與生產(chǎn)銷售為一體的垂直整合制造(簡(jiǎn)稱IDM)企業(yè)。

2016年底，奧松研發(fā)技術(shù)中心被市科創(chuàng)委評(píng)定為“廣州市企業(yè)研究開發(fā)機(jī)構(gòu)”。2018年底被省科技廳評(píng)定為“廣東省MEMS傳感器工程技術(shù)研究中心”。2018年底，公司自主立項(xiàng)的研發(fā)項(xiàng)目“絕對(duì)濕度傳感器”項(xiàng)目獲得“廣州開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才”申報(bào)項(xiàng)目的專家評(píng)審成功立項(xiàng)，公司負(fù)責(zé)人被評(píng)為“廣州開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才”。

創(chuàng)立伊始，奧松高瞻遠(yuǎn)矚，堅(jiān)持以“科技領(lǐng)先、顧客至上”的理念，長(zhǎng)期與國(guó)內(nèi)外多家科研機(jī)構(gòu)、院所以及高分子材料學(xué)術(shù)界專家、教授合作，組建了一批具有博士研究生背景的業(yè)內(nèi)資深專家、研發(fā)工程師等研發(fā)團(tuán)隊(duì)，內(nèi)部設(shè)有“技術(shù)中心”，目前各類研發(fā)科技人員已超50人。研發(fā)技術(shù)中心配有各類實(shí)驗(yàn)室及各類生產(chǎn)線，配置先進(jìn)的投影式光刻機(jī)、離子注入機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、光學(xué)鍍膜機(jī)、LPCVD、PECVD、掃描電子顯微鏡、高精密濕度標(biāo)準(zhǔn)儀等設(shè)備。每年投入超過(guò)銷售收入20%以上的研發(fā)經(jīng)費(fèi)，以確保各研發(fā)項(xiàng)目有效實(shí)施開發(fā)。目前研發(fā)實(shí)驗(yàn)室面積超過(guò)10000平方米。近3年累計(jì)開發(fā)研發(fā)項(xiàng)目近20項(xiàng)，均已形成科技成果且成功進(jìn)行成果轉(zhuǎn)化，同時(shí)已申請(qǐng)獲得各項(xiàng)發(fā)明、實(shí)用新型及軟件著作權(quán)等專利知識(shí)產(chǎn)權(quán)50余項(xiàng)。

奧松自主研發(fā)的傳感器芯片