PI采用磁懸浮技術

　　實現(xiàn)更高的高精度定位水平

　　皮米級分辨率

　　通過將磁性導向裝置和專用高精度驅動和傳感器技術相結合，實現(xiàn)高動態(tài)和低至皮米級的最高分辨率。

　　六自由度的主動控制

　　利用主動控制和多達6個自由度的導向特性定義功能，可執(zhí)行額外的校正任務，例如在操作期間進行沿Z向對焦或調整偏擺角度。

　　非接觸式操作

　　無摩擦導向原理，有效避免滾動元件、潤滑和氣流，從而確保在整個使用壽命內實現(xiàn)最高精度，且可適用于無塵室環(huán)境。

　　市場和應用

　　在定位解決方案的開發(fā)中利用磁懸浮技術的特性，實現(xiàn)高精度、快速和無磨損的運動。這可以將要求苛刻的半導體制造或顯微鏡檢驗任務中的成像質量提高到一個全新的精度水平。

　　"磁懸浮技術的獨特之處在于我們可以在機械系統(tǒng)內使用無接觸軸承。”我們的并聯(lián)運動和磁驅動專家Christian Rudolf博士，深入探討了PI磁懸浮解決方案的 激動人心的開發(fā)過程。